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解析真空鍍膜設備的加熱方式

       真空鍍膜設備的加熱方式主要包括以下幾種:
       1、電阻式加熱:
       利用發熱體通電后產生焦耳熱來獲得高溫,熔融膜材料使其蒸發。這種加熱方式結構簡單,成本較低。
       具體形式有絲狀電阻源、舟狀電阻源、坩堝加熱器等。電阻加熱源主要用于蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。
       但其缺點是不適用于難熔金屬和耐受高溫的介質材料。
       2、電子束加熱:
       通過電場加速電子,使其獲得動能打到膜材上,使膜材料加熱氣化。
       這種加熱方式比電阻式加熱熱效率越高,可以直接加熱到材料表面,提高膜的純度。
       具體形式還有磁偏轉式電子束加熱、空心熱陰極等離子電子束加熱等。
       電子束加熱適用于蒸發溫度較高的材料,例如不低于2000℃。
       3、感應式加熱:
       將裝有膜材料的坩堝放在螺旋線圈的中間(不接觸),再在線圈中通高頻電流,膜材料在高頻電磁感應下產生渦流出現升溫,直至蒸發。
       這種加熱蒸發方式的特點是對膜材料的純度要求相對較低,蒸發源溫度穩定,蒸發速率大。
       除了上述常見的加熱方式外,真空鍍膜設備還可能有其他的加熱方法,例如:
       電弧加熱:被蒸發材料作陰極,耐受高溫的鉬桿作陽極,在高真空下通電時,在兩電極間產生弧光放電,使陰極材料蒸發。
       激光加熱:用激光束作為熱源,使被蒸發材料汽化。但由于大功率激光器的造價很高,目前主要在少數研究性實驗室中使用。
       在選擇加熱方式時,需要根據具體的鍍膜材料、工藝要求、設備成本等因素進行綜合考慮。同時,為了確保鍍膜的質量和效率,還需要注意真空鍍膜設備的操作和維護,確保加熱系統的穩定性和牢靠性。
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2024/03/08 09:25:28 1953 次

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